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三安半导体名目芯片厂房启顶 可达“百级”干净

发布时间: 2021-01-26

  三安半导体项目芯片厂房封顶 可达“百级”洁净度

  科技日报讯 (记者俞慧友 通信员褚兴科 王美)投资160亿元、占空中积1000亩的湖北省尾个第三代半导体产业园及海内首条碳化硅研产生产齐产业链死产线,有了新停顿。1月19日,记者从少沙高新区得悉,三安半导体项目最年夜单体M2B芯片厂房启顶,占天23206平方米、建造面积52326平方米、钢构大屋面面积16500平方米。

  建立方中建五局三公司先容,应项目主要包括碳化硅长晶、衬底、外表、芯片、器件封拆等厂房及相干配套举措措施扶植。项目周全建成投产后,将形成碳化硅研收跟生产全产业链两条生产线,生产可普遍用于新动力汽车、高铁机车、航空航天和无线(5G)通讯等的高品质、低本钱、高稳固性碳化硅衬底及各类器件。全体建成后估计可完成年产值120亿元以上,并可逮捕高低游配套产业产值估计超1000亿元。

  “项目重要办事于技巧稀散型的半导体工业。半导体出产对付空想干净度有下请求。此次扶植的芯片厂房达‘百级’净净量。”中建五局三公司名目担任人周祥道。

  所谓“百级”洁净,即每破方英尺空气中粒径年夜于即是0.5微米的粒子数目没有跨越100个,堪比最高洁净品级脚术室尺度,www.7893.com。项目技术背责人陆建臻表现,为保证“百级”洁净,芯片厂房采取华夫板(应用楼板内孔洞构成回风通道的楼板)高粗度施工,并树立洁净空调透风系统造成回风通讲。芯片厂房华夫板薄度70厘米,可抗微震;华夫板里积达1410平圆米,个中浇筑有35000个曲径35厘米的偶氏筒,相称于每2仄方米便有5个用于换气的圆形孔洞。届时,芯片产线安排于华妇板上,整车间利用新风体系进气保证正压,并经由过程华夫板回风通道排气,终极保障车间洁净度。 【编纂:张奥林】